由河北華飛工程設計有限公司（以下簡稱“華飛工程”）總體設計的滄州華宇特種氣體科技有限公司年產(chǎn)5000噸電子特氣項目于2024年底正式進入試生產(chǎn)階段。該項目位于滄州臨港經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)，主要產(chǎn)品為電子級硅烷氣和電子級三氯硅烷，該項目生產(chǎn)裝置為全國單套產(chǎn)能最大的硅烷氣生產(chǎn)裝置。

                                                                           圖 / 現(xiàn)場照片

電子特種氣體是國家大力支持發(fā)展的新材料，被稱為“芯片血液”，應用在集成電路制造中的刻蝕、薄膜沉積等環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率有較大影響。電子級硅烷氣是一種高純度的電子特種氣體，不僅用于電子半導體、光伏、顯示面板等領域，更是高性能鋰電池硅碳負極材料、顆粒硅的主要原材料，可有效解決新能源電動汽車的續(xù)航里程及光伏產(chǎn)業(yè)的成本和環(huán)保問題。

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華飛工程作為該項目的總體設計單位，在多家單位配合下，主導完成了該項目的規(guī)劃設計、安全設施設計、施工圖設計和職業(yè)衛(wèi)生設計等工作。該項目于2022年12月開始設計，于2023年10月通過安全設施設計審查，于2024年1月通過規(guī)劃審查，于2024年下半年配合業(yè)主進行了消防驗收、試生產(chǎn)審查等各項驗收手續(xù)。該項目設計任務重、周期短，在合作過程中，華飛工程設計團隊與業(yè)主緊密配合，克服重重困難，優(yōu)質(zhì)、高效地完成了設計任務，為項目的順利實施提供了有利保障，展現(xiàn)出的嚴謹、負責的態(tài)度贏得了業(yè)主方的肯定。